- 이온빔 분석
- ION BEAM ANALYSIS
이온빔 분석장치 소개
탄뎀가속기
ERD-TOF
External PIXE
AMS
RBS-Channeling
RBS
ERD
♦ 이온빔 분석 (Ion Beam Analysis) 원리
이온빔 분석기술은 양성자(H)나 헬륨이온(He) 또는 그보다 더 무거운 염소이온(Cl) 등을 시료에 조사해서
입사된 이온과 시료 내 원자들과의 상호작용에 의해 발생되는 2차 입자나 방사선을 측정하여
시료 내부에 존재하는 미세 성분의 종류와 양을 분석하거나 박막의 두께, 조성비 등을 분석할 수 있는 기술.
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이온빔 분석을 위해서는 탄뎀가속기가 주로 많이 이용되며 한국원자력연구원 양성자과학연구단은
1.7 MV 탄뎀가속기와 3 MV 탄뎀가속기를 이용해 다양한 이온빔 분석 서비스를 제공하고 있으며
지속적으로 이온빔 분석장치 및 기술을 개발해 나갈 예정임
♦ 1.7 MV 탄뎀가속기
- 규격
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- 레이아웃
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- 이온원과 전단부
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- 빔라인
총 5개의 빔라인을 구성할 수 있으며, 그 중 2개의 빔라인을 이온빔 분석에 활용 중
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